Simulationsgestützte Optimierung von Fertigungsabläufen in der Produktion elektronischer Halbleiterspeicher
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2.1 ÜBERBLICK BACKEND-PROZESS 5 2.2 EINFLUSS DER FERTIGUNGSTECHNOLOGIE AUF DEN PROZESSABLAUF 6 2.2.1 Technologie undMarkteinordnung der Halbleiterspeicher 6 2.2.2 Bauformen undAufbautechnologien 7 2.2.3 Prozessstruktur und Fertigungsablauf 10 2.2.4 Wartungsanteil, Ausfälle und Fertigungsversuche 12 2.2.5 Qualitätsprüfungen und Ausbeute 14 2.2.6 Auswirkungen der Technologieentwicklung im Packaging auf den Prozessfluss 17 2.3 NEBENBEDINGUNGEN IN DER HALBLEITERFERTIGUNG 19 2.3.1 Terminvorgaben , 19 2.3.2 Batch-Prozesse 20 2.3.3 Rüstvorgänge (Setups) 21 2.3.4 Losteilung und -zusammenfuhrung (Split und Merge) 25 2.3.5 Anlagen-, Werkzeug-und Hilfsmittelqualifikation 25 2.3.6 Los und Produktprioritäten 27 2.4 PRODUKTIONSPLANUNG UND -STEUERUNG (PPS) 29 2.4.1 Einordnung der PPS 29 2.4.2 Besonderheiten der rollierenden Planung 30
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تاریخ انتشار 2008